第一章  總則
    第1.0.1條  潔凈廠房設(shè)計(jì)必須貫徹執(zhí)行國(guó)家的有關(guān)方針政策，做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)合理、安全適用、確保質(zhì)量、符合節(jié)約能源和環(huán)境保護(hù)的要求。
    第1.0.2條  本規(guī)范適用于新建和改建、擴(kuò)建的潔凈廠房設(shè)計(jì)，但不適用于以細(xì)菌為控制對(duì)象的生物潔凈室。本規(guī)范有關(guān)防火和疏散、消防設(shè)施章節(jié)的規(guī)定，不適用于建筑高度超過(guò)24米的高層潔凈廠房和地下潔凈廠房的設(shè)計(jì)。
    第1.0.3條  在利用原有建筑進(jìn)行潔凈技術(shù)改造時(shí)，潔凈廠房設(shè)計(jì)必須根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，因地制宜、區(qū)別對(duì)待，充分利用已有的技術(shù)設(shè)施。
    第1.0.4條  潔凈廠房設(shè)計(jì)應(yīng)為施工安裝、維護(hù)管理、檢修測(cè)試和安全運(yùn)行創(chuàng)造必要的條件。
    第1.0.5條  潔凈廠房設(shè)計(jì)除應(yīng)按本規(guī)范執(zhí)行外，尚應(yīng)符合現(xiàn)行的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的有關(guān)要求。 
 
        第二章  空氣潔凈度等級(jí)
    第2.0.1條  空氣潔凈度應(yīng)按表2.0.1規(guī)定劃分為四個(gè)等級(jí)。
                      空氣潔凈度    表2.0.1
┌────┬──────────┬─────────┐  
│等級(jí)    │每立方米(每升)空氣│每立方米(每升)空│  
│        │中≥0.5微米塵粒數(shù)   │氣中≥5微米塵粒數(shù) │  
├────┼──────────┼─────────┤  
│100級(jí)   │≤35×100(3.5)    │                  │  
├────┼──────────┼─────────┤  
│1000級(jí)  │≤35×1000(35)    │≤250(0.25)     │  
├────┼──────────┼─────────┤  
│10000級(jí) │≤35×10000(350)  │≤2500(2.5)     │  
├────┼──────────┼─────────┤  
│100000級(jí)│≤35×100000(3500)│≤5000(25)      │  
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注: 對(duì)于空氣潔凈度為100級(jí)的潔凈室內(nèi)大于等于5微米塵粒的計(jì)數(shù)，應(yīng)進(jìn)行多次采樣，當(dāng)其多次出現(xiàn)時(shí)，方可認(rèn)為該測(cè)試數(shù)值是可靠的.
    第2.0.2條  潔凈室空氣潔凈度等級(jí)的檢驗(yàn)，應(yīng)以動(dòng)態(tài)條件下測(cè)試的塵粒數(shù)為依據(jù)。潔凈室空氣潔凈度的測(cè)試，應(yīng)符合附錄二規(guī)定。        
        第三章  總體設(shè)計(jì)
        第一節(jié)  潔凈廠房位置選擇和總平面布置
    第3.1.1條  潔凈廠房位置的選擇，應(yīng)根據(jù)下列要求并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)方案比較后確定：
    一、應(yīng)在大氣含塵濃度較低，自然環(huán)境較好的區(qū)域;
    二、應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場(chǎng)、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉(cāng)、堆場(chǎng)等有嚴(yán)重空氣污染、振動(dòng)或噪聲干擾的區(qū)域，如不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染時(shí)，則應(yīng)位于其最大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)，或全年最小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè);
    三、應(yīng)布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔、人流貨流不穿越或少穿越的地區(qū)。
    第3.1.2條  對(duì)于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應(yīng)實(shí)際測(cè)定周圍現(xiàn)有振源的振動(dòng)影響，并應(yīng)與精密設(shè)備、精密儀器儀表允許環(huán)境振動(dòng)值進(jìn)行分析比較。
    第3.1.3條  潔凈廠房最大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)有煙囪時(shí)，潔凈廠房與煙囪之間的水平距離不宜小于煙囪高度的12倍。
    第3.1.4條  潔凈廠房與交通干道之間的距離不宜小于50米。
    第3.1.5條  潔凈廠房周圍宜設(shè)置環(huán)形消防車道(可利用交通道路)。如有困難時(shí)，可沿廠房的兩個(gè)長(zhǎng)邊設(shè)置消防車道。
    第3.1.6條  潔凈廠房周圍的道路面層，應(yīng)選用整體性好、發(fā)塵少的材新。
    第3.1.7條  潔凈廠房周圍應(yīng)進(jìn)行綠化?？射佒膊萜骸⒎N植對(duì)大氣含塵濃度不產(chǎn)生有害影響的樹木，并形成綠化小區(qū)，但不得防礙消防操作。 
 
第二節(jié)  工藝布置和設(shè)計(jì)綜合協(xié)調(diào)
    第3.2.1條  工藝布置應(yīng)符合下列要求：
    一、工藝布置合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)只布置必要的工藝設(shè)備以及有空氣潔凈度等級(jí)要求的工序和工作室;
    二、在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，空氣潔凈度高的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調(diào)節(jié)機(jī)房;空氣潔凈度等級(jí)相同的工序和工作室宜集中布置;靠近潔凈區(qū)入口處宜布置氣潔凈度等級(jí)較低的工作室;
    三、潔凈室內(nèi)要求空氣潔凈度高的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè)易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置;
    四、應(yīng)考慮大型設(shè)備安裝和維修的運(yùn)輸路線，并預(yù)留設(shè)備安裝口和檢修口;
    五、應(yīng)設(shè)置單獨(dú)的物料入口，物料傳遞路線應(yīng)最短，物料進(jìn)入潔凈區(qū)之前必須進(jìn)行清潔處理。
    第3.2.2條  潔凈廠房?jī)?nèi)宜少設(shè)隔間，但在下列情況下可予以分隔：
    一、按生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類，甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間，或有防火分隔要求者;
    二、生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生較強(qiáng)噪聲或散發(fā)較多熱量、塵粒和有害氣體，且不能采取局部措施加以控制者;
    三、生產(chǎn)聯(lián)系少，并經(jīng)常不同時(shí)使用的兩個(gè)生產(chǎn)區(qū)段之間。
    第3.2.3條  潔凈廠房的平面和空間設(shè)計(jì)，宜將潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房進(jìn)行分區(qū)布置。同時(shí)應(yīng)考慮生產(chǎn)操作、工藝設(shè)備安裝和維修、
氣流組織型式、管線布置以及凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)等各種技術(shù)設(shè)施的綜合協(xié)調(diào)效果。
    第3.2.4條  潔凈廠房設(shè)計(jì)必須合理確定各種管線的平面位置和堅(jiān)向標(biāo)高。
    第3.2.5條  潔凈廠房?jī)?nèi)各種固定技術(shù)設(shè)施(如送風(fēng)口、照明器、回風(fēng)口、各種管線等)的布置，宜首先考慮凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的要求 
 
        第三節(jié)  噪聲控制
    第3.3.1條  潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)，應(yīng)符合下列要求：
    一、動(dòng)態(tài)測(cè)試時(shí)，潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)不應(yīng)超過(guò)70分貝A。
    二、空態(tài)測(cè)試時(shí)，亂流潔凈室的噪聲級(jí)不宜大于60分貝A;層流潔凈室的噪聲級(jí)不應(yīng)大于65分貝A。
    注：①由于技術(shù)經(jīng)濟(jì)條件限制，或噪聲大于70分貝A對(duì)生產(chǎn)無(wú)影響時(shí)，噪聲級(jí)可適當(dāng)放寬，但不宜大于75分貝A;
    ②上述噪聲級(jí)是指在室內(nèi)每一個(gè)工作點(diǎn)人耳位置(人離開)的測(cè)量值。對(duì)于變動(dòng)噪聲，則取相同位置處在一個(gè)正常工作日內(nèi)的等效連續(xù)聲壓級(jí)。
    第3.3.2條  潔凈室的噪聲頻譜限制，應(yīng)采用倍頻程聲壓級(jí);各頻帶聲壓級(jí)值不宜大于表3.3.2的規(guī)定。

 噪聲頻譜限制    表3.3.2

┌─────────┬──┬──┬──┬──┬──┬──┬──┬──┐  
│倍頻程\中心頻    │    │    │    │    │    │    │    │    │  
│    \高聲\率    │63  │125 │250 │500 │1000│2000│4000│8000│  
│潔凈\壓值\(赫)│    │    │    │    │    │    │    │    │  
│室分類\(分貝)  │    │    │    │    │    │    │    │    │  
├────┬────┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┤  
│空態(tài)    │亂流    │79  │70  │63  │58  │55  │52  │50  │40  │  
│        ├────┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┤  
│        │層流    │83  │74  │68  │63  │60  │57  │55  │54  │  
├────┴────┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┤  
│動(dòng)態(tài)              │87  │78  │72  │68  │65  │62  │60  │59  │  
└─────────┴──┴──┴──┴──┴──┴──┴──┴──┘
    第3.3.3條  潔凈廠房的平、剖面布置，應(yīng)考慮噪聲控制的要求，其圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)有良好的隔聲性能，并宜使各部分隔聲量相接近。
    第3.3.4條  潔凈室內(nèi)的各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對(duì)于輻射噪聲超過(guò)潔凈室允許值的設(shè)備，應(yīng)設(shè)置專用隔聲設(shè)施(如隔聲間、隔聲罩等)。
    第3.3.5條  凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)噪聲超過(guò)允許值時(shí)，應(yīng)采取隔聲、消聲、隔振等控制措施。  除事故排風(fēng)外，應(yīng)對(duì)潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)行減噪設(shè)計(jì)。
    第3.3.6條  凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)，根據(jù)室內(nèi)噪聲級(jí)的要求，風(fēng)管內(nèi)風(fēng)速宜按下列規(guī)定選用：
    一、總風(fēng)管為6--10米/秒;
    二、無(wú)送、回風(fēng)口的文風(fēng)管為6～8米/秒;
    三、有送、回風(fēng)口的文風(fēng)管為3～6米/秒。
    第3.3.7條  潔凈廠房的噪聲控制設(shè)計(jì)必須考慮生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度要求，不用因控制噪聲而影響潔凈室的凈化條件。        
        第四節(jié)  微振控制
    第3.4.1條  潔凈廠房和周圍輔助性站房?jī)?nèi)有強(qiáng)烈振動(dòng)的設(shè)備(包括水泵等)及其通往潔凈室的管道，應(yīng)采取積極隔振措施。
    第3.4.2條  對(duì)潔凈廠房?jī)?nèi)外各類振源，應(yīng)測(cè)定其對(duì)潔凈廠房的綜合振動(dòng)影響。如受條件限制，也可根據(jù)經(jīng)驗(yàn)對(duì)綜合振動(dòng)影響進(jìn)行評(píng)價(jià)。并應(yīng)與精密設(shè)備、精密儀器儀表的允許環(huán)境振動(dòng)值進(jìn)行比較，以確定對(duì)其采取必要的田振措施。
    第3.4.3條  精密設(shè)備、精密儀器儀表的隔振措施，應(yīng)考慮減少發(fā)塵量、保持潔凈室內(nèi)合理的氣流組織等要求。當(dāng)采用空氣彈簧隔振臺(tái)座時(shí)，應(yīng)對(duì)氣溫進(jìn)行處理，使其達(dá)到潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)。 
            第四章  建筑
          第一節(jié)  一般規(guī)定
    第4.1.1條  潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應(yīng)具有適當(dāng)?shù)撵`活性。潔凈區(qū)的主體結(jié)構(gòu)不宜采用內(nèi)墻承重。
    第4.1.2條  潔凈室的高度以凈高控制，凈高應(yīng)以100毫基本模數(shù)。
    第4.1.3條  潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性與室內(nèi)裝備和裝修水平相協(xié)調(diào)，并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能(地震區(qū)應(yīng)符合抗震設(shè)計(jì)規(guī)定)。廠房變形縫應(yīng)避免穿過(guò)潔凈區(qū)。
    第4.1.4條  送、回風(fēng)管和其他管線需暗敷時(shí)，應(yīng)設(shè)置技術(shù)夾層、技術(shù)夾道或地溝等;穿越極層的豎向管線需暗敷時(shí)，宜設(shè)置技術(shù)豎井。
    第4.1.5條  對(duì)兼有一般生產(chǎn)和潔凈生產(chǎn)的綜合性廠房，其方案設(shè)計(jì)和構(gòu)造的處理，應(yīng)避免在人流與物流運(yùn)輸以及防火方面對(duì)潔凈生產(chǎn)帶來(lái)不利影響。 
    第二節(jié)  人員凈化和物料凈化設(shè)施
    第4.2.1條  潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置人員凈化、物料凈化用室和設(shè)施，并應(yīng)根據(jù)需要設(shè)置生活用室和其他用室。
    第4.2.2條  人員凈化用室，宜包括雨具存放間、管理室、換鞋室、存外衣室、盥洗室、潔凈工作服室和空氣吹淋室等。廁所、淋浴室、休息室等生活用室以及工作服清洗間和干燥間等其他用室，可根據(jù)需要設(shè)置。
    第4.2.3條  人員凈化用室和生活用室的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列要求：
    一、人員凈化用室的入口處，應(yīng)設(shè)凈鞋器。
    二、存外衣室和潔凈工作服室應(yīng)分別設(shè)置。外衣存衣柜和潔凈工作服柜應(yīng)按設(shè)計(jì)人數(shù)每人設(shè)一柜。
    三、盥洗室應(yīng)設(shè)洗手和烘干設(shè)備。水龍頭應(yīng)按最大班人數(shù)每10人設(shè)一個(gè)。
    四、潔凈區(qū)不得設(shè)廁所。人員凈化用室內(nèi)的廁所應(yīng)設(shè)前室。
    五、空氣吸淋室應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)人員入口處，并應(yīng)與潔凈工作服室相鄰。單人空氣吹淋室按最大班人數(shù)每30人設(shè)一臺(tái)。當(dāng)僅為100級(jí)垂直層流潔凈室時(shí)，可改
設(shè)氣閘室。  潔凈區(qū)工作人員超過(guò)5人時(shí)，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)旁通門。
    第4.2.4條  人流路線應(yīng)避免往復(fù)交叉。人員凈化用室和生活用室的布置，一般按圖4.2.4的人員凈化程序進(jìn)行布置。
    第4.2.5條  根據(jù)不同的空氣潔凈度等級(jí)和工作人員數(shù)量，潔凈廠房?jī)?nèi)人員凈化用室和生活用室的建筑面積應(yīng)合理確定。一般可按潔凈區(qū)設(shè)計(jì)人數(shù)平均每人4～6平方米計(jì)算。
    第4.2.6條  潔凈工作服室內(nèi)，對(duì)空氣凈化應(yīng)有一定的要求。
    第4.2.7條  潔凈室的設(shè)備和物料出入口，應(yīng)根據(jù)設(shè)備和物料的性質(zhì)、形狀等待征設(shè)置物料凈化用室及其設(shè)施。物料凈化用室的布置，應(yīng)防止凈化后物料在傳遞過(guò)程中被污染。 
  第三節(jié)  防火和疏散

   第4.3.1條  潔凈廠房的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。吊頂材料應(yīng)為非燃燒體，其耐火極限不宜小于0.25小時(shí)。
    第4.3.2條  潔凈廠房?jī)?nèi)一般的生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險(xiǎn)性，可按附錄三進(jìn)行分類。
    第4.3.3條  甲、乙類生產(chǎn)的潔凈廠房，宜采用單層廠房。其防火墻間最大允許占地面積，單層廠房應(yīng)為3，000平方米，多層廠房應(yīng)為2，000平方米。
    第4.3.4條  甲、乙類生產(chǎn)或設(shè)置在甲、乙類生產(chǎn)環(huán)境中的裝配式潔凈室，其頂棚和壁板(包括內(nèi)部填充物)應(yīng)為非燃燒體。
    第4.3.5條  在一個(gè)防火區(qū)內(nèi)的綜合性廠房，其潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置非燃燒體隔墻封閉到頂。隔墻及其相應(yīng)頂板的耐火極限不應(yīng)低于1小時(shí)，隔墻上的門窗耐火極限不應(yīng)低于0.6小時(shí)。穿過(guò)隔墻或頂板的管線周圍空隙應(yīng)采用非燃燒材料緊密填塞。
    第4.3.6條  技術(shù)豎井井壁應(yīng)為非燃燒體，其耐火極限不應(yīng)低于1小時(shí)。井壁上檢查門的耐火極限不應(yīng)低于0.6小時(shí);豎井內(nèi)在各層或間隔一層樓板處，應(yīng)采用相當(dāng)于樓板耐火極限的非燃燒體作水平防火分隔;穿過(guò)水平防火分隔的管線周圍空隙，應(yīng)采用非燃燒材料緊密填塞。
    第4.3.7條  潔凈廠房每一生產(chǎn)層、每一防火分區(qū)或每一潔凈區(qū)的安全出口的數(shù)量，均不應(yīng)少于兩個(gè)。但符合下列要求者，可設(shè)置一個(gè)安全出口：
    一、甲、乙類生產(chǎn)廠房每層的總建筑面積不用過(guò)50平方米，且同一時(shí)間內(nèi)的生產(chǎn)人員總數(shù)不用過(guò)5人;
    二、丙、丁、戊類生產(chǎn)廠房，符合國(guó)家現(xiàn)行的《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》的規(guī)定者。
    安全出口應(yīng)分散均勻布置，從生產(chǎn)地點(diǎn)至安全出口不用經(jīng)過(guò)曲折的人員凈化路線。
    第4.3.8條  潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)和潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門應(yīng)向疏散方向開啟。安全疏散門不得采用吊門、轉(zhuǎn)門、側(cè)拉門以及電控自動(dòng)門。
    第4.3.9條  當(dāng)潔凈廠房同層外墻上可供消防人員通往廠房潔凈區(qū)的門窗，其洞口間距大于80米時(shí)，則應(yīng)在該段外墻的適當(dāng)部位設(shè)置專用消防口。
    專用消防口的寬度不應(yīng)小于750毫米，高度不應(yīng)小于1800毫米，并應(yīng)有明顯標(biāo)志。
    樓層的專用消防口應(yīng)附設(shè)陽(yáng)臺(tái)，并從二層起向上設(shè)爬樓。 
  第四節(jié)  室內(nèi)裝修
    第4.4.1條  潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度等變化作用下變形小的材料。墻面內(nèi)裝修當(dāng)需附加構(gòu)造骨架和保溫層時(shí)。應(yīng)采非燃燒體或難燃燒體。
    第4.4.2條  潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的表面，應(yīng)符合平整、光滑、不起灰、避免眩光、便于除塵等要求;應(yīng)減少凹凸面，陰陽(yáng)角做成圓角。室內(nèi)裝修宜采用于操作;如為抹灰時(shí)，應(yīng)采用高級(jí)抹灰標(biāo)準(zhǔn)。
    第4.4.3條  潔凈室的地面，應(yīng)符合平整、耐磨、易除塵清洗、不易積聚靜電、避免眩光、并有舒適感等要求。
    第4.4.4條  潔凈廠房技術(shù)夾層的墻面、頂棚宜抹灰。如需在技術(shù)夾層內(nèi)更換高效空氣過(guò)濾器時(shí)，宜增刷涂料飾面。
    地面、回風(fēng)地溝和位于地下的技術(shù)夾層，應(yīng)采用防水或防潮、防霉措施。  建筑風(fēng)道和回風(fēng)地溝的內(nèi)表面裝修標(biāo)準(zhǔn)，應(yīng)與整個(gè)送、回風(fēng)系統(tǒng)相適應(yīng)，并應(yīng)易于除塵。
    第4.4.5條  潔凈室和人員凈化用室設(shè)置的外窗，應(yīng)采用雙層玻璃金屬窗，并應(yīng)有良好的氣密性。
    第4.4.6條  潔凈室內(nèi)的密閉門宜朝空氣潔凈度較高的房間開啟。無(wú)窗潔凈室的密閉門上宜設(shè)觀察窗。
    第4.4.7條  潔凈室門窗、墻壁、頂棚、地(樓)面的構(gòu)造和施工縫隙，均應(yīng)采取可靠的密封措施。
    第4.4.8條  潔凈室內(nèi)的色彩宜淡雅柔和。室內(nèi)各表面材料的光反射系數(shù)，頂棚和墻面宜為0.6-0.8;地面宜為0.15--0.35。 
   第五節(jié)  裝配式潔凈室
    第4.5.1條  在新建或改建的潔凈廠房設(shè)計(jì)中，對(duì)于面積不大、層高較低、要求空氣潔凈度較高的生產(chǎn)環(huán)境可采用裝配式潔凈室。
    第4.5.2條  裝配式潔凈室所在的房間應(yīng)有空氣凈化要求，并應(yīng)與裝配式潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)相適應(yīng)。外圍建筑的耐火等級(jí)不得低于二級(jí)。
    第4.5.3條  裝配式潔凈室頂棚可由裝配式潔凈室本身內(nèi)壁板或支柱支承，也可固定在外圍建筑上?；仫L(fēng)地溝或回風(fēng)地坑宜設(shè)在外圍建筑的地面以下。
    第4.5.4條  裝配式潔凈室設(shè)計(jì)應(yīng)滿足在該室室內(nèi)安裝壁板的要求。裝配式潔凈室的構(gòu)配件應(yīng)做到：連接構(gòu)造的整體性強(qiáng)、氣密性好，并便于組裝、拆卸、包裝和運(yùn)輸。
    第4.5.5條  裝配式潔凈室的四周壁板中，宜有一面或兩面緊貼或靠近外圍建筑的墻壁。緊貼時(shí)，壁板與墻壁之間的安裝縫隙應(yīng)封閉;靠近時(shí)，應(yīng)留有清掃距離。當(dāng)裝配式潔凈室時(shí),壁板外側(cè)設(shè)有技術(shù)夾道時(shí)，壁板與外圍建筑內(nèi)墻面之間凈寬不宜小于600毫米。

 第五章  空氣凈化
    第一節(jié)  一般規(guī)定
    第5.1.1條  潔凈廠房?jī)?nèi)各潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)的確定，應(yīng)符合下列要求：
    一、潔凈室內(nèi)有多種工序時(shí)，應(yīng)根據(jù)各工序的不同要求，采用不同的空氣潔凈度等級(jí)。
    二、在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，潔凈室的氣流組織，宜采用局部工作區(qū)空氣凈化和全室空氣凈化相結(jié)合的形式。
    第5.1.2條  層流潔凈室和亂流潔凈室以及運(yùn)行班次和使用時(shí)間不同的潔凈室，其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)均宜分開設(shè)置。
    第5.1.3條  潔凈室內(nèi)的計(jì)算溫、濕度，應(yīng)符合下列規(guī)定：
    一、滿足生產(chǎn)工藝要求;
    二、生產(chǎn)工藝無(wú)溫、濕度要求時(shí)，潔凈室溫度為20～26℃，濕度小于70%;
    三、人員凈化用室和生活用室溫度為16-28℃。
    第5.1.4條  潔凈室內(nèi)應(yīng)保證-定的新鮮空氣量，其數(shù)值應(yīng)取下列風(fēng)量中的最大值：
    一、亂流潔凈室后送風(fēng)量的10-30%，層流潔凈室總送風(fēng)量的2～4%;
    二、補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;
    三、保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40立方米。
    第5.1.5條  潔凈區(qū)的清掃，宜采用移動(dòng)式高效真空吸塵器或設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)。潔凈室內(nèi)集中式真空吸塵系統(tǒng)的管道，應(yīng)暗敷。
    第5.1.6條  在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)中，對(duì)施工和維護(hù)管理要求，可按附錄四和附錄五的規(guī)定。 
   第二節(jié)  潔凈室正壓控制
    第5.2.1條  潔凈室必須維持一定的正壓。 不同等級(jí)的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差，應(yīng)不小于0.5毫米水柱;潔凈區(qū)與室外的靜壓差，不應(yīng)小于1.0毫米水柱。
    第5.2.2條  潔凈室維持不同的正壓值所需的正壓風(fēng)量，宜按下式計(jì)算：
    Q=a.∑(q.L)                     (5.2.2)
    式中Q一維持潔凈室正壓值所需的正壓風(fēng)量(立方米/時(shí))，
    a一根據(jù)圍護(hù)結(jié)構(gòu)氣密性確定的安全系數(shù)，可取l.l-l.2;
    q一當(dāng)潔凈室為某一正壓值時(shí)，其圍護(hù)結(jié)構(gòu)單位長(zhǎng)度縫隙的滲漏風(fēng)量(立方
米/時(shí)·米);
    L一圍護(hù)結(jié)構(gòu)的縫隙長(zhǎng)度(米)。
    第5.2.3條  圍護(hù)結(jié)構(gòu)單位長(zhǎng)度縫隙的滲漏風(fēng)量 可按表5.2.3采用。
            圍護(hù)結(jié)構(gòu)單位長(zhǎng)度縫隙的滲漏風(fēng)量    表5.2.3
┌───────┬──┬─┬──┬──┬──┬──┬──┐  
│  漏風(fēng)  \門窗│    │密│單層│單層│單層│傳遞│壁板│  
│   \量(\ 形│非密│閉│固定│固定│開啟│窗  │    │  
│壓差\米^3\式│閉門│門│密閉│密閉│式密│    │    │  
│差(毫\/時(shí) \│    │  │木窗│鋼窗│閉鋼│    │    │  
│米水柱)\米)│    │  │    │    │窗  │    │    │  
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤  
│0.5           │17  │4 │1.0 │0.7 │3.5 │2.0 │0.3 │  
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤  
│1.0           │24  │6 │1.5 │1.0 │4.5 │3.0 │0.6 │  
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤    
│1.5           │30  │8 │2.0 │1.3 │6.0 │4.0 │0.8 │  
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤  
│2.0           │36  │9 │2.5 │1.5 │7.0 │5.0 │1.0 │  
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤  
│2.5           │40  │10│2.8 │1.7 │8.0 │5.5 │1.2 │  
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤  
│3.0           │44  │11│3.0 │1.9 │8.5 │6.0 │1.4 │  
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤  
│3.5           │48  │12│3.5 │2.1 │9.0 │7.0 │1.5 │  
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤  
│4.0           │52  │13│3.8 │2.3 │10.0│7.5 │1.7 │  
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤  
│4.5           │55  │15│4.0 │2.5 │10.5│8.0 │1.9 │  
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤  
│5.0           │60  │16│4.4 │2.6 │11.5│9.0 │2.0 │  
└───────┴──┴─┴──┴──┴──┴──┴──┘  
    第5.2.4條  送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉應(yīng)聯(lián)鎖。系統(tǒng)開啟時(shí)，聯(lián)鎖程序應(yīng)為先啟動(dòng)送風(fēng)機(jī)，再啟動(dòng)回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī);系統(tǒng)關(guān)閉時(shí)，則聯(lián)鎖程序應(yīng)相反。
    第5.2.5條  非連續(xù)運(yùn)行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求在置值班風(fēng)機(jī)，并應(yīng)對(duì)新風(fēng)進(jìn)行處理。      
  第三節(jié)  氣流組織和送風(fēng)量
    第5.3.1條  氣流組織的選擇，應(yīng)符合下列要求：
    一、潔凈工作區(qū)的氣流速度，應(yīng)滿足空氣潔凈度和人體健康的要求來(lái)。并應(yīng)使?jié)崈艄ぷ鲄^(qū)氣流流向單一;
    二、回風(fēng)口宜均勻布置在潔凈室下部;
    三、余壓閥宜設(shè)在潔凈室氣流的下風(fēng)側(cè)，不宜設(shè)在潔凈工作區(qū)高度范圍內(nèi)。
    第5.3.2條  潔凈室的氣流組織和送風(fēng)量，宜按表5.3.2選用。
                 氣流組織和送風(fēng)量    表5.3.2
┌───────┬───────────────┬───────┐  
│空氣潔凈      │ 100級(jí)                        │      1000級(jí)  │  
│度等級(jí)        │                              │              │  
├─┬─────┼───────┬───────┼───────┤  
│  │氣流流型  │垂直層流      │水平層流      │        亂流  │  
│氣├─────┼───────┼───────┼───────┤  
│流│送鳳      │1.頂棚滿布高效│1.送風(fēng)墻滿布高│1.孔板頂棚送風(fēng)│  
│組│主要      │空氣過(guò)濾器送風(fēng)│效空氣過(guò)濾器  │2.條形布置高效│  
│織│方式      │(高效空氣過(guò)  │水平送風(fēng)      │空氣過(guò)濾器頂棚│  
│形│          │濾器占頂棚面積│2.送風(fēng)墻局部布│送風(fēng)          │  
│式│          │不小于60%)  │置高效空氣過(guò)濾│3.間隔布置帶擴(kuò)│  
│  │          │              │器水平送風(fēng)    │散板高效空氣  │  
│  │          │2.側(cè)布高效空氣│(高效空氣過(guò)濾│過(guò)濾器頂棚送風(fēng)│  
│  │          │過(guò)濾器，頂棚設(shè)│器占送風(fēng)墻面  │              │  
│  │          │阻尼層送風(fēng)    │積不小于40%)│              │  
│  │          │3.全孔板頂棚送│              │              │  
│  │          │風(fēng)            │              │              │  
│  ├─────┼───────┼───────┼───────┤  
│  │回風(fēng)      │1.格柵地面回風(fēng)│1.回風(fēng)墻滿布  │1.相對(duì)兩側(cè)墻下│  
│  │主要      │⑴滿布        │回風(fēng)口        │部均勻布置回  │  
│  │方式      │⑵均勻局部布置│2.回風(fēng)墻局部布│風(fēng)口          │  
│  │          │2.相對(duì)兩側(cè)墻下│置回風(fēng)口      │2.潔凈室面積較│  
│  │          │部均勻布置回  │              │大時(shí)，可采用  │  
│  │          │風(fēng)口          │              │地面均勻布置  │  
│  │          │              │              │回風(fēng)口        │  
├─┼─────┼───────┼───────┼───────┤  
│送│氣流流經(jīng)室│不小于0.25    │不小于0.35    │              │  
│風(fēng)│內(nèi)斷面風(fēng)速│              │              │              │  
│量│(米/秒)│              │              │              │  
│  ├─────┼───────┼───────┼───────┤  
│  │換氣次數(shù)  │              │              │不小于50      │  
│  │(次/時(shí))│              │              │              │  
├─┴─────┼───────┼───────┼───────┤  
│送風(fēng)口風(fēng)速    │孔板孔3～5    │              │孔板孔口3～5  │  
│(米/秒)    │              │              │              │  
├───────┼───────┼───────┼───────┤  
│回風(fēng)口風(fēng)速    │不大于2       │不大于1.5     │1.潔凈室內(nèi)回風(fēng)│  
│(米/秒)    │              │              │口不大于2     │  
│              │              │              │2.走廊內(nèi)回風(fēng)口│  
│              │              │              │不大于4       │  
└───────┴───────┴───────┴───────┘  
注：1.垂直層流潔凈室采用相對(duì)兩側(cè)墻下部均勻布置回風(fēng)口方式，僅適用于兩對(duì)側(cè)  側(cè)墻間距不大于5米.
    2.亂流潔凈室送風(fēng)量的確定，宜考慮室內(nèi)含塵濃度不均勻擴(kuò)散的因素.
┌───────┬───────────┬───────────┐  
│空氣潔凈      │      10,000級(jí)        │          100,000級(jí)   │  
│等級(jí)          │                      │                      │  
├─┬─────┼───────────┼───────────┤  
│氣│氣流流型  │        亂流          │             亂流     │  
│流├─────┼───────────┼───────────┤  
│組│送風(fēng)      │1.局部孔板頂棚送風(fēng)    │1.帶擴(kuò)散板高效空氣過(guò)  │  
│織│主要      │2.帶擴(kuò)散板高效空氣過(guò)  │濾器頂棚送風(fēng)          │  
│型│方式      │濾器頂棚送風(fēng)          │2.上側(cè)墻送風(fēng)          │  
│式│          │3.上側(cè)墻送風(fēng)          │                      │  
│  ├─────┼───────────┼───────────┤  
│  │回風(fēng)      │1.單側(cè)墻下部布置回風(fēng)口│1.單側(cè)墻下部布置回風(fēng)口│  
│  │主要      │2.當(dāng)采用走廊回風(fēng)時(shí)，在│2.當(dāng)采用走廊回風(fēng)時(shí)，在│  
│  │方式      │走廊內(nèi)均勻布置回風(fēng)口或│走廊內(nèi)均勻布置回風(fēng)口或│  
│  │          │在走廊端部集中設(shè)置回  │在走廊端部集中設(shè)置回  │  
│  │          │風(fēng)口                  │風(fēng)口                  │  
├─┼─────┼───────────┼───────────┤  
│送│氣流流經(jīng)室│                      │                      │  
│風(fēng)│內(nèi)斷風(fēng)面風(fēng)│                      │                      │  
│量│速        │                      │                      │  
│  │(米/秒)│                      │                      │  
│  ├─────┼───────────┼───────────┤  
│  │換氣次數(shù)  │        不小于25      │不小于15              │  
│  │(次/時(shí))│                      │                      │  
├─┴─────┼───────────┼───────────┤  
│送風(fēng)口風(fēng)速    │1.孔板孔口3～5        │側(cè)送風(fēng)口              │  
│(米/秒)    │2.側(cè)送風(fēng)口            │⑴貼附射流2～5        │  
│              │⑴貼附射流2～5        │⑵非貼附射流同側(cè)墻下部│  
│              │⑵非貼附射流同側(cè)墻下部│回風(fēng)1.5～2.5，對(duì)側(cè)墻  │  
│              │回風(fēng)1.5～2.5，對(duì)側(cè)墻  │下部回鳳1.0～1.5      │  
│              │下部回鳳1.0～1.5      │                      │  
├───────┼───────────┼───────────┤  
│回風(fēng)口風(fēng)速    │1.潔凈室回風(fēng)口不大于2 │1.潔凈室回風(fēng)口不大于2 │  
│(米/秒)    │2.走廊內(nèi)回風(fēng)口不大于4 │2.走廊內(nèi)回風(fēng)口不大于4 │  
└───────┴───────────┴───────────┘  
    第5.3.3條  亂流潔凈室的送風(fēng)量，應(yīng)取下列規(guī)定的最大值：
    一、為控制室內(nèi)空氣潔凈度所需要的送風(fēng)量;
    二、按表5.3.2規(guī)定的送風(fēng)量;
    三、根據(jù)熱、濕負(fù)荷計(jì)算和稀釋有害氣體所需的送風(fēng)量;
    四、按空氣平行所需要的送風(fēng)量。
    第5.3.4條  當(dāng)生產(chǎn)工藝僅要求在潔凈室內(nèi)局部工作區(qū)達(dá)到更高的空氣潔凈度時(shí)，其氣流組織設(shè)計(jì)應(yīng)使?jié)崈魵饬魇紫攘鹘?jīng)該工作區(qū)，或在潔凈室的不同區(qū)域形成不同氣流流型和空氣潔凈度等級(jí)的潔凈工作區(qū)，其型式可分別按圖5.3.
 4-1、圖5.3.4-2選用。
    第5.3.5條  層流潔凈室內(nèi)不宜設(shè)置潔凈工作臺(tái);亂流潔凈室內(nèi)可設(shè)置潔凈工作臺(tái)，但其位置應(yīng)遠(yuǎn)離回風(fēng)口。
    第5.3.6條  潔凈室內(nèi)有局部排風(fēng)裝置時(shí)，其位置應(yīng)設(shè)在工作區(qū)氣流的下風(fēng)側(cè)。     

第四節(jié)  空氣凈化處理
    第5.4.1條  各等級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效、中效、高效空氣過(guò)濾器三級(jí)過(guò)濾。 注：100,000級(jí)空氣凈化處理,可采用亞高效空氣過(guò)濾器代替高效空氣過(guò)濾器。
    第5.4.2條  確定集中式或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)綜合考慮生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和潔凈室空氣潔凈度等級(jí)、面積位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、潔凈室面積較大、位置集中以及噪聲控制和振動(dòng)控制要求嚴(yán)格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。
    第5.4.3條  凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用回風(fēng)。凡工藝過(guò)程產(chǎn)生大量有害物質(zhì)且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求或?qū)ζ渌ば蛴形：r(shí)，則不應(yīng)利用回風(fēng)。
    第5.4.4條  凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設(shè)置值班風(fēng)機(jī)的系統(tǒng)外，應(yīng)采取防止室外污染空氣通過(guò)新風(fēng)口滲入潔凈室內(nèi)的防倒灌措施。
    第5.4.5條  空氣過(guò)濾器的選用、布置和安裝方式，應(yīng)符合下列要求：
    一、初效空氣過(guò)濾器不應(yīng)選用浸油式過(guò)濾器
    二、中效空氣過(guò)濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段;
    三、高效空氣過(guò)濾器或亞高效空氣過(guò)濾氣宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端;
    四、中效、亞高效、高效空氣過(guò)濾器宜按額定風(fēng)量選用;
    五、阻力、效率相近的高效空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在同一潔凈室內(nèi);
    六、高效空氣過(guò)濾器的安裝方式應(yīng)簡(jiǎn)便可靠，宜于檢漏和更換。
    第5.4.6條  送風(fēng)機(jī)可按凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的總送風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇。中效、高效空氣過(guò)濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計(jì)算。
    第5.4.7條  凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時(shí)，應(yīng)選用管狀電加熱器，位置應(yīng)布置在高效空氣過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè)，并應(yīng)有防火安全措施  
  第五節(jié)  采暖通風(fēng)
    第5.5.1條  潔凈室的采暖型式，應(yīng)按下列不同情況確定：
    一、100級(jí)、1000級(jí)、10，000級(jí)潔凈室，不應(yīng)采用散熱器采暖;l00，000級(jí)潔凈室，不宜采用散熱器采暖。
    二、值班采暖可利用技術(shù)夾道的散熱器進(jìn)行間接采暖，或采用間歇運(yùn)行凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)、值班風(fēng)機(jī)系統(tǒng)進(jìn)行熱風(fēng)采暖。
    第5.5.2條  散熱器應(yīng)采用表面光滑、不易積塵、便于清掃的型式。
    第5.5.3條  潔凈室內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備，應(yīng)設(shè)局部排風(fēng)裝置，排風(fēng)罩的操作口面積應(yīng)盡量縮小。
    第5.5.4條  局部排風(fēng)系統(tǒng)在下列情況下，應(yīng)單獨(dú)設(shè)置：
    一、非同一凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng);
    二、排風(fēng)介質(zhì)混合后能產(chǎn)生或加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險(xiǎn)性;
    三、所排出的有害物毒性相差很大。
  第5.5.5條  潔凈室的排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，應(yīng)采取下列措施：
    一、防倒灌措施;
    二、含有易燃、易爆物質(zhì)局部排風(fēng)系統(tǒng)的防火、防爆措施。
    第5.5.6條  換鞋室、存外衣室、盥洗室、廁所和淋浴室等，應(yīng)采取通風(fēng)
措施。其室內(nèi)的靜壓值，應(yīng)低于潔凈區(qū)。
    第5.5.7條  潔凈室事故排風(fēng)系統(tǒng)的換氣次數(shù)，應(yīng)采用每小時(shí)15～20次。事故排風(fēng)裝置的控制開關(guān)，應(yīng)分別設(shè)在潔凈室和室外便于操作的地點(diǎn)，并應(yīng)與凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)聯(lián)鎖，其室內(nèi)宜設(shè)報(bào)警裝置。 
  第六節(jié)  風(fēng)管和附件
    第5.6.1條  風(fēng)管斷面尺寸的確定，應(yīng)考慮能對(duì)風(fēng)管內(nèi)壁進(jìn)行清潔處理，并在適當(dāng)位置設(shè)置密閉的清掃口。風(fēng)管壁厚按附錄六選用。
    第5.6.2條  凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)管、回風(fēng)總管，應(yīng)設(shè)置密閉調(diào)節(jié)閥。送風(fēng)機(jī)的吸入口處和需要調(diào)節(jié)風(fēng)量處，應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥。潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥、止回閥或密閉閥?？傦L(fēng)管穿過(guò)樓板和風(fēng)管穿過(guò)防火墻處，必須設(shè)置防火閥。
    第5.6.3條  凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的風(fēng)管和調(diào)節(jié)閥以及高效空氣過(guò)濾器的保護(hù)網(wǎng)、孔板和擴(kuò)散孔板等附件的制作材料和涂料，應(yīng)根據(jù)輸送空氣的潔凈要求及其所處的空氣環(huán)境條件確定。   潔凈室內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管、調(diào)節(jié)閥和止回閥等附件的制作材料和涂料，應(yīng)根據(jù)排除氣體的性質(zhì)及其所處的空氣環(huán)境條件確定。
    第5.6.4條  在中效和高效的空氣過(guò)濾器前后，應(yīng)設(shè)置測(cè)壓孔。在新風(fēng)管和送回風(fēng)總管以及需要調(diào)節(jié)風(fēng)量的支管上，應(yīng)設(shè)置風(fēng)量測(cè)定孔。
    第5.6.5條  排除腐蝕性氣體的風(fēng)管，可采用塑料風(fēng)管。其他風(fēng)管以及風(fēng)管的保溫和消聲材料及其粘結(jié)刑，應(yīng)采用非燃燒材料或難燃燒材料。

  第六章  給水排水
  第一節(jié)  一般規(guī)定
    第6.1.1條  潔凈廠房?jī)?nèi)的給水排水干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層、技術(shù)豎井、地溝管槽內(nèi)或地下埋設(shè)。
    潔凈室內(nèi)應(yīng)少敷設(shè)管道。引入潔凈室的支管宜明敷，但對(duì)空氣潔凈度等級(jí)要求高的潔凈室可暗敷。
    第6.1.2條  潔凈廠房?jī)?nèi)的管道外表面，如可能結(jié)露，應(yīng)采取防結(jié)露措施。
    第6.1.3條  管道穿過(guò)潔凈室頂棚、墻壁和樓板處應(yīng)設(shè)套管。管道與套管之間應(yīng)采取可靠的密封措施。
    第5.1.4條  管道不宜穿過(guò)防火墻。如必須穿過(guò)時(shí)，穿墻管及其套管應(yīng)為非燃燒體管材。 
  第二節(jié)  給水
    第6.2.1條  潔凈廠房?jī)?nèi)的給水系統(tǒng)設(shè)計(jì)，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)、生活和消防等各項(xiàng)用水對(duì)水質(zhì)、水溫、水壓和水量的要求，分別設(shè)置直流、循環(huán)或重復(fù)利用的給水系統(tǒng)。高純水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置循環(huán)管道。
    第6.2.2條  管材的選擇，應(yīng)符合下列要求：
    一、純水管、高純水管應(yīng)采用硬聚氯乙烯管、聚丙烯管或不銹鋼管;
    二、冷卻循環(huán)給水和回水管宜采用鍍鋅鋼管;
    三、生產(chǎn)用水設(shè)備與管道的連接宜采用優(yōu)質(zhì)軟管;
    四、管道的配件應(yīng)采用相應(yīng)的材料。
    第6.2.3條  潔凈廠房?jī)?nèi)可設(shè)置開水供應(yīng)設(shè)施;盥洗室內(nèi)的盥洗盆宜供應(yīng)熱水;軟化水、純水管適應(yīng)預(yù)留清洗口;純水終端凈化裝置應(yīng)放在靠近用水點(diǎn)處。
    第6.2.4條  潔凈廠房的周圍，應(yīng)設(shè)置灑水設(shè)施。  
  第三節(jié)  排水
    第6.3.1條  潔凈廠房的排水系統(tǒng)設(shè)計(jì)，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)排出的廢水性質(zhì)、濃度、水量等特點(diǎn)確定排水系統(tǒng)，并應(yīng)有廢水處理或綜合利用設(shè)施。
    第6.3.2條  潔凈室內(nèi)的排水設(shè)備以及與重力回水管道相連接的設(shè)備，必須在其排出口以下部位設(shè)水封裝置，并應(yīng)有防止水封被破壞的設(shè)施。
    第6.3.3條  100級(jí)、1000級(jí)潔凈室內(nèi)，不宜設(shè)置地漏;如必須設(shè)置時(shí)，應(yīng)采用有蓋地漏，并不應(yīng)設(shè)排水溝。10，000、100，000級(jí)潔凈室內(nèi)允許穿過(guò)排水豎管，但在豎管上不得設(shè)置檢查口。
    第6.3.4條  潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)采用不易積存污物、易于清掃的衛(wèi)生器具、管材、管架及其附件。  
  第四節(jié)  消防設(shè)施
    第6.4.1條  潔凈廠房應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類和建筑物耐火等級(jí)等因素確定消防設(shè)施。
    第6.4.2條  潔凈廠房室內(nèi)消火栓給水系統(tǒng)的消防用水量不應(yīng)小于10升/秒，每股水量不應(yīng)少于5升/秒;
    第6.4.3條  潔凈廠房的消火栓設(shè)置，應(yīng)符合下列要求：
    一、消火栓的水槍充實(shí)水柱，不應(yīng)小于10米。
    二、消火栓的栓口直徑應(yīng)為65毫米，配備的水帶長(zhǎng)度不應(yīng)超過(guò)25米，水槍噴嘴口徑不應(yīng)小于19毫米。
    第6.4.4條  潔凈室及其技術(shù)夾道和技術(shù)夾層內(nèi)，均宜同時(shí)設(shè)置鹵代烷或二氧化碳等滅火設(shè)施和消防給水系統(tǒng)。對(duì)設(shè)有貴重設(shè)備儀器或生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性較大的潔凈室，以及當(dāng)火災(zāi)發(fā)生時(shí)消防人員難以進(jìn)入撲救的技術(shù)夾層和技術(shù)夾道等部位，應(yīng)同時(shí)設(shè)置鹵代烷或二氧化碳等固定滅火裝置和消防給水系統(tǒng)。 

第七章  工業(yè)氣體管道
  第一節(jié)  一般規(guī)定
    第7.1.1條  工業(yè)氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道內(nèi)。氫氣和氧氣管道宜明敷;如敷設(shè)在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道內(nèi)時(shí)，應(yīng)采取良好的通風(fēng)措施。引入潔凈室的支管宜明敷。
    第7.1.2條  高純氣體管道設(shè)計(jì)，應(yīng)附合下列要求
    一、根據(jù)計(jì)算確定管徑;
    二、管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短;
    三、不宜設(shè)預(yù)留口;
    四、不應(yīng)出現(xiàn)“盲管”等不易吹除的部位;
    五、干管和支管上應(yīng)設(shè)置吹除口;
    六、在管道系統(tǒng)上應(yīng)設(shè)置必要的取樣口。
    第7.1.3條  穿過(guò)潔凈室墻壁或樓板的氣體管道，應(yīng)敷設(shè)在預(yù)埋套管內(nèi)，套管內(nèi)的管段不應(yīng)有焊縫。管道與套管之間應(yīng)采取可靠的密封措施。
    第7.1.4條  氫氣和氧氣管道末端或是高點(diǎn)宜設(shè)放散管。放散管應(yīng)高出屋脊1米，并應(yīng)設(shè)在防雷保護(hù)區(qū)內(nèi)。
    第7.1.5條  氣體凈化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度的要求進(jìn)行選擇。氣體終端凈化裝置應(yīng)設(shè)在靠近用氣點(diǎn)處。
    第7.1.6條  氣體過(guò)濾器應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)氣體含塵量的要求進(jìn)行選擇。高純氣體管道應(yīng)裝設(shè)高氣體過(guò)濾器。 
    第二節(jié)  管道材料、閥門和附件
    第7.2.1條  根據(jù)不同的氣體及其純度和用途，管道材料應(yīng)按下列規(guī)定選用：
    一、氣體純度大于或等于99.999%時(shí)，應(yīng)采用不銹鋼管;
    二、氣體純度大于或等于99.99%時(shí)，直采用不銹鋼管、銅管、無(wú)縫鋼管;
    三、氣體純度小于99.99%時(shí)，可采用無(wú)縫鋼管;
    四、管道與設(shè)備的連接段，宜采用金屬管道;如為非金屬軟管時(shí)，宜采用聚四氟乙烯管、聚乙烯管，不得采用乳膠管。
    第7.2.2條  高純氣體管道應(yīng)采用密封性能好的閥門和附件，其材料與管道相適應(yīng)。閥門的密合圈應(yīng)為有色金屬、銹鋼或聚四氟乙烯材料。閥門的填塞料應(yīng)采用聚四氟乙烯材料。
    第7.2.3條  高純氣體管道與附件連接的密封墊,應(yīng)采用不銹鋼、有色金屬、聚四氟乙烯或氟橡膠材料。 
   第三節(jié)  管道連接和清洗
    第7.3.1條  管道連接應(yīng)采用焊接。高純氣體管道應(yīng)采用承插焊。
    第7.3.2條  管道與設(shè)備、閥門的連接處，宜采用法蘭、螺紋或其它密封性能優(yōu)良的連接件。螺紋處宜采用聚四氟乙烯帶密封。
    第7.3.3條  高純氣體管道內(nèi)的內(nèi)壁、閥門和附件在安裝前，應(yīng)進(jìn)行清洗、脫脂等預(yù)處理。 
        第四節(jié)  安全技術(shù)
    第7.4.1條  工業(yè)氣體管道設(shè)計(jì)的安全技術(shù)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
    一、氫氣管道的支管和放散管上，應(yīng)設(shè)置回火防止器;
    二、氫氣和氧氣管道應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電裝置;
    三、各種氣體管道應(yīng)設(shè)明顯標(biāo)志。
    第7.4.2條  潔凈室內(nèi)使用氫氣時(shí)，宜在室內(nèi)設(shè)置報(bào)警裝置。
    第7.4.3條  各種氣瓶應(yīng)集中設(shè)置在潔凈廠房外。當(dāng)日用氣量不超過(guò)一瓶時(shí)，氣瓶可設(shè)置在潔凈室內(nèi)。

 第八章  電   氣
   第一節(jié)  配電
    第8.1.1條  潔凈廠房的電力負(fù)荷等級(jí)，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定。凈化空氣調(diào)節(jié)用電負(fù)荷、照明負(fù)荷，應(yīng)由變電所專線供電。
    第8.1.2條  電源進(jìn)線(不包括消防用電)應(yīng)設(shè)置切斷裝置，并宜設(shè)在非潔凈區(qū)便于管理的地點(diǎn)。
    第8.1.3條  潔凈室內(nèi)的配電設(shè)備，應(yīng)選擇不易積塵的設(shè)備，并宜暗裝。大型配電設(shè)備不宜設(shè)在潔凈室內(nèi)。
    第8.1.4條  潔凈室內(nèi)的電氣管線宜暗敷，管材應(yīng)采用非燃燒材料。由非潔凈區(qū)進(jìn)入潔凈區(qū)的電氣管線管口，應(yīng)采取可靠的密封措施。 
   第二節(jié)  照明
    第8.2.1條  潔凈室內(nèi)的照明光源，宜采用熒光燈。如達(dá)不到照明設(shè)計(jì)的技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)要求時(shí)，也可采用其他光源。
    第8.2.2條  潔凈室內(nèi)一般照明燈具宜明裝。如燈具嵌入頂棚暗裝時(shí)，其安裝縫隙應(yīng)采取可靠的密封措施。    潔凈室內(nèi)不應(yīng)采用格柵型燈具。
    第8.2.3條  無(wú)采光窗潔凈區(qū)工作面上的照度值，不應(yīng)低于表8.2.3的規(guī)定數(shù)值。
           無(wú)采光窗潔凈區(qū)工作面上的照度值  表8.2.3
┌──────┬──────┬──┬───────┐  
│識(shí)別對(duì)象的  │視覺工作分類│亮度│照度(勒克斯)│  
│最小尺寸    ├──────┤對(duì)比├───┬───┤  
│d(毫米)   │     等級(jí)   │    │混合  │一般  │  
│及場(chǎng)所      │            │    │照明  │照明  │  
├──────┼─┬────┼──┼───┼───┤  
│d≤0.15     │Ⅰ│    甲  │小  │2500  │500   │  
│            │  │    乙  │大  │1500  │300   │  
├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤  
│0.15≤d≤0.3│Ⅱ│   甲   │小  │1000  │300   │  
│            │  │   乙   │大  │750   │200   │  
├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤  
│0.8≤d≤0.6 │Ⅲ│   甲   │小  │750   │200   │  
│            │  │   乙   │大  │750   │150   │  
├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤  
│d>0.6      │Ⅳ│        │    │750   │150   │  
├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤  
│通道、休息室│  │        │    │      │100   │  
├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤  
│暗房工作室  │  │        │    │      │30    │  
└──────┴─┴────┴──┴───┴───┘  
    第8.2.4條  無(wú)采光窗潔凈區(qū)混合照明中的一般照明，其照度值應(yīng)該按等級(jí)混合照明照度值的10-l5%采用，并不應(yīng)低于150勒克斯。
    第8.2.5條  潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的事故照明。在應(yīng)急安全出口和疏散通道轉(zhuǎn)角處應(yīng)設(shè)置標(biāo)志燈。在專用消防口處應(yīng)設(shè)置紅色應(yīng)急照明燈。
    第8.2.6條  潔凈室內(nèi)一般照明的照度均勻度不應(yīng)小于0.7。
  第三節(jié)  控制、通信和防護(hù)
    第8.3.1條  潔凈廠房的凈化空氣調(diào)節(jié)控制系統(tǒng)，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝對(duì)溫度、濕度和正壓的要求。凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)所采用的電加熱器，應(yīng)設(shè)置無(wú)風(fēng)斷電保護(hù)。
    第8.3.2條  潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置與廠房?jī)?nèi)外聯(lián)系的通信裝置。
    第8.3.3條  潔凈廠房(包括技術(shù)夾層)應(yīng)單獨(dú)或組合設(shè)置感溫、感光、感煙等形式的火災(zāi)探測(cè)器。報(bào)警器(受訊臺(tái))應(yīng)設(shè)置在有人值班的地點(diǎn)，供電應(yīng)可靠。
    第8.3.4條  潔凈區(qū)內(nèi)應(yīng)設(shè)緊急按鈕。如發(fā)生火災(zāi)危險(xiǎn)時(shí)，應(yīng)能發(fā)出報(bào)警信號(hào)，并應(yīng)同時(shí)切斷風(fēng)機(jī)電源。 
              

 附錄一             名詞解釋
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│序號(hào)│本規(guī)范用名詞│曾用名詞│  解釋                  │  
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│1   │潔凈室      │        │根據(jù)需要，對(duì)空氣中塵粒、│  
│    │            │        │溫度、濕度、壓力和噪聲  │  
│    │            │        │進(jìn)行控制的密閉空間,并   │  
│    │            │        │以其空氣潔凈度等級(jí)符合  │  
│    │            │        │本規(guī)范規(guī)定為主要特征    │  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│2   │潔凈區(qū)      │凈化區(qū)  │由潔凈室所組成的區(qū)域    │  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│3   │人身凈化用室│人凈生活│潔凈區(qū)工作人員在進(jìn)入潔  │  
│    │            │間      │凈區(qū)之前按一定程序進(jìn)行  │  
│    │            │        │凈化的輔助用室          │  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│4   │物料凈化用室│        │物料在進(jìn)入潔凈區(qū)之前按一│  
│    │            │        │定程序進(jìn)行凈化的輔助用室│  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│5   │技術(shù)夾層    │管道夾層│主要以水平構(gòu)件分隔構(gòu)成  │  
│    │            │技術(shù)閣樓│的供安裝管線等設(shè)施使用  │  
│    │            │        │的建筑夾道              │  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│6   │技術(shù)夾道    │技術(shù)走廊│主要以垂直構(gòu)件分隔成的  │  
│    │            │技術(shù)管械│供安裝管線等設(shè)施使用的  │  
│    │            │技術(shù)夾墻│建筑夾道                │  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│7   │技術(shù)豎井    │        │主要以垂直鉤件分隔構(gòu)成  │  
│    │            │        │的供安裝豎向管線使用的  │  
│    │            │        │井式建筑輔助空間        │  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│8   │建筑風(fēng)道    │        │以建筑構(gòu)件組成的風(fēng)道    │  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│9   │輕型吊頂    │輕吊頂、│以輕型骨架和飾面板材安  │  
│    │            │軟吊頂  │裝組成的頂棚            │  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│10  │粒      徑  │        │指塵粒由某種測(cè)定方法測(cè)  │  
│    │            │        │出的長(zhǎng)度名義尺寸，并不  │  
│    │            │        │含有具體的幾何形狀的意  │  
│    │            │        │義。當(dāng)采用光學(xué)顯微鏡測(cè)  │  
│    │            │        │定時(shí)，是指塵粒投影通過(guò)  │  
│    │            │        │測(cè)微標(biāo)尺時(shí)為標(biāo)尺刻度線  │  
│    │            │        │所切兩瑞的長(zhǎng)度          │  
│    │            │        │  當(dāng)采用光散射式粒子計(jì)  │  
│    │            │        │數(shù)器測(cè)定時(shí)，是指標(biāo)準(zhǔn)塵  │  
│    │            │        │粒(如聚本烯小球)作散  │  
│    │            │        │射光強(qiáng)度的等效比較而得  │  
│    │            │        │的綜合效果              │  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│11  │含塵濃度    │        │指單位體積空氣中所含懸  │  
│    │            │        │浮塵粒的數(shù)量            │  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│12  │潔凈度      │        │    指潔凈環(huán)境中空氣含塵│  
│    │            │        │粒多少的程度            │  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│13  │全室空氣凈化│全面凈化│通過(guò)空氣凈化等技術(shù)措施，│  
│    │            │        │使室內(nèi)整個(gè)空間的空氣含塵│  
│    │            │        │濃度達(dá)到本規(guī)范的空氣潔凈│  
│    │            │        │度等級(jí)，這種方式稱全室空│  
│    │            │        │氣凈化                  │  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│14  │局部空氣凈化│        │  僅使室內(nèi)工作區(qū)域特定的│  
│    │            │        │局部空間的空氣含塵濃度達(dá)│  
│    │            │        │到本規(guī)范的空氣潔凈度等級(jí)│  
│    │            │        │這種方式稱局部空氣凈化  │  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│15  │層流潔凈室  │平行流  │在潔凈室內(nèi)，空氣以均勻的│  
│    │            │        │斷面速度沿平行流線流動(dòng)(│  
│    │            │        │與流體力學(xué)的層流概念不完│  
│    │            │        │全相同)                │  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│16  │亂流潔凈室  │        │在潔凈室內(nèi)，空氣以不均勻│  
│    │            │        │的速度呈不平行流線流動(dòng)  │  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│17  │潔凈工作區(qū)  │        │指潔凈室內(nèi)(除生產(chǎn)工藝特│  
│    │            │        │殊要求外)離地面0.8～1.5│  
│    │            │        │米高度的區(qū)域            │  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│18  │第一潔凈工作│        │  指水平層流潔凈室工作區(qū)│  
│    │區(qū)          │        │內(nèi)空氣潔凈度最后的工作位│  
│    │            │        │置                      │  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│19  │空氣吹淋室、│風(fēng)淋室、│強(qiáng)制吹除工作人員及其衣  │  
│    │通道式空氣吹│空氣淋  │服上附著塵粒的設(shè)備      │  
│    │淋室        │浴室    │                        │  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│20  │氣閘室      │        │  為保持潔凈區(qū)的空氣潔凈│  
│    │            │        │度和正壓控制而設(shè)置的緩沖│  
│    │            │        │室                      │  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│21  │潔凈工作服  │尼龍服、│ 為了把工作人員的皮膚和 │  
│    │            │無(wú)塵服  │衣服產(chǎn)生的塵粒限于最小程│  
│    │            │        │度所使用的灰塵量少的潔凈│  
│    │            │        │服裝                    │  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│22  │過(guò)濾器額定風(fēng)│        │指在一定濾速下，使其效率│  
│    │量          │        │和阻力為最合理時(shí)的過(guò)濾器│  
│    │            │        │風(fēng)量                    │  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│23  │隧道式潔凈室│        │  在潔凈室內(nèi)采用層流罩組│  
│    │            │        │成隧道式的垂直層流型的局│  
│    │            │        │部潔凈工作區(qū)，以布置有較│  
│    │            │        │高空氣潔凈度要求的生產(chǎn)工│  
│    │            │        │序或生產(chǎn)流水線          │  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│24  │外圍建筑    │   b    │  指安裝裝配式潔凈室所在│  
│    │            │        │的新建或改建建筑物      │
├──┼──────┼────┼────────────┤
│25  │氣流組織    │        │  指對(duì)氣流流向和均勻度按│  
│    │            │        │一定要求進(jìn)行組織        │  
├──┼──────┼────┼────────────┤
│26  │濾膜顯微鏡  │        │ 將測(cè)定用薄膜過(guò)濾器捕集 │  
│    │計(jì)數(shù)法      │        │到的塵粒用顯微鏡放大后，│  
│    │            │        │觀察塵粒大小和數(shù)量的方法│  
├──┼──────┼────┼────────────┤
│27  │純水        │去離子水│ 指溫度25℃時(shí)，電阻率   │  
│    │            │深度脫鹽│大于0.1×10^6歐姆·厘米 │  
│    │            │水      │水                      │  
├──┼──────┼────┼────────────┤
│28  │高純水      │        │指溫度25℃時(shí)，電阻率大于│  
│    │            │        │0.1×10^6歐姆·厘米水中 │  
│    │            │        │大于或等于0.5微米的塵粒 │  
│    │            │        │小于300粒/毫升，活微生 │  
│    │            │        │物小于9個(gè)/毫升的純水   │  
├──┼──────┼────┼────────────┤ 
│29  │純水終端凈  │純水后處│在用水點(diǎn)附近，對(duì)水質(zhì)作進(jìn)│  
│    │化裝置      │理設(shè)備  │一步凈化處理的裝置      │  
├──┼──────┼────┼────────────┤
│30  │高純氣體    │        │指純度大于或等于        │  
│    │            │        │99，9999%，            │  
│    │            │        │含水量小于5ppm的氣體    │  
├──┼──────┼────┼────────────┤
│31  │氣體終端凈  │        │在用氣點(diǎn)附近，對(duì)氣體作進(jìn)│  
│    │化裝置      │        │一步純化處理的裝置      │  
├──┼──────┼────┼────────────┤
│32  │高效氣體過(guò)  │        │氣體經(jīng)過(guò)濾后，達(dá)到小于或│  
│    │濾器        │        │等于0.5微米塵粒含量小于 │  
│    │            │        │或等于3.5粒/升的氣體過(guò) │  
│    │            │        │濾器                    │  
└──┴──────┴────┴────────────┘ 

附錄二   潔凈室空氣潔凈度的測(cè)試
    一、潔凈室的空氣潔凈度，應(yīng)進(jìn)行下列測(cè)試：
    (一)空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試
    空態(tài)測(cè)試：潔凈室已竣工，凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài)，室內(nèi)沒有工藝設(shè)備和生產(chǎn)人員的情況下邊行測(cè)試。
    靜態(tài)測(cè)試：潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài)，工藝設(shè)備已安裝，室內(nèi)沒有生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測(cè)試。
    (二)動(dòng)態(tài)測(cè)試
   潔凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進(jìn)行測(cè)試。
    二、潔凈室的風(fēng)量、風(fēng)速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測(cè)，可按一般通用、空氣調(diào)節(jié)的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。
    三、空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試
    (一)測(cè)試前的準(zhǔn)備
    1、應(yīng)對(duì)潔凈室及其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)進(jìn)行徹底清潔。
    2、采用光散射粒子計(jì)數(shù)器對(duì)高效空氣過(guò)濾器進(jìn)行檢漏測(cè)試。首先測(cè)定高效空氣過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè)靜壓箱內(nèi)(或風(fēng)管內(nèi))粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數(shù)應(yīng)
為大于或等于30，000粒/升。如若不夠，可引入煙霧，然后開始檢漏。將粒子計(jì)數(shù)器(或檢漏裝置)的采樣口距離高效空氣過(guò)濾器2--3厘米處，可以2～4厘米/秒的速度移動(dòng)，對(duì)高效空氣過(guò)濾器整個(gè)斷面 封頭膠處和安裝框架處進(jìn)行掃描。當(dāng)粒子計(jì)數(shù)器讀數(shù)為空氣口大于或等于0.5微米的塵粒超過(guò)3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即認(rèn)為該處有明顯滲漏，必須進(jìn)行堵漏。
    (二)測(cè)試內(nèi)容
    1、總送風(fēng)量、總回風(fēng)量、新鮮空氣量、排風(fēng)量等;
    2、潔凈室壓力值;
    3、層流潔凈室斷面風(fēng)速和氣流流向;
    4、潔凈工作區(qū)的潔凈度;
    5、室內(nèi)溫度、濕度及其控制能力的調(diào)整測(cè)試;
    6、潔凈室內(nèi)噪聲。
    (三)潔凈工作區(qū)空氣潔凈度的測(cè)試方法
    對(duì)于粒徑大于或等于0.5微米的塵粒計(jì)數(shù)，宜采用光散射粒子計(jì)數(shù)法。對(duì)于粒徑大于或等于5微米的塵粒計(jì)數(shù)。也可采用濾膜顯微鏡計(jì)數(shù)法。    光散射粒子計(jì)數(shù)法：
    1、光散射粒子計(jì)數(shù)器采樣量
    100級(jí)：每次采樣量大于或等于1升。   l，000級(jí)-l0,000級(jí)：每次采樣量大于或等于0.3升。   100，000級(jí)：每次采樣量大于或等于0.1升。   對(duì)于100級(jí)潔凈室，宜采用大流量粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行測(cè)試;   如果條件不具備時(shí)，可采用每次采樣量不小于1升的粒子計(jì)數(shù)器。
    2、采樣注意事項(xiàng)
    (1)采樣管必須干凈，連接處嚴(yán)禁滲漏。
    (2)采樣管的長(zhǎng)度，應(yīng)根據(jù)儀器的允許長(zhǎng)度。當(dāng)無(wú)規(guī)定時(shí)，不宜大于1.5米。
    (3)采樣管口的流速，宜與潔凈室斷面平均風(fēng)速相接近。測(cè)試人員應(yīng)在采樣口的下風(fēng)側(cè)。
    (4)采樣順序應(yīng)按含塵濃度從低到高進(jìn)行。
    3、測(cè)點(diǎn)布置
    (l)檢測(cè)在潔凈工作區(qū)內(nèi)進(jìn)行。當(dāng)生產(chǎn)工藝無(wú)特殊要求時(shí)，取樣高度宜為離地面1米。
    (2)層流潔凈室測(cè)點(diǎn)總數(shù)不小于20點(diǎn)，測(cè)點(diǎn)間距為0.5～2.0米，粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數(shù)允許有一個(gè)點(diǎn)超過(guò)。水平層流潔凈室測(cè)點(diǎn)僅布置在第一潔凈工作區(qū)內(nèi)。
    (3)亂流潔凈室可按潔凈面積小于或等于50平方米布置5個(gè)測(cè)點(diǎn)(附圖2)。每增加20-50平方米，增加3--5個(gè)測(cè)點(diǎn)。
    4、數(shù)據(jù)整理
    (1)每個(gè)測(cè)點(diǎn)的數(shù)據(jù)整理應(yīng)在測(cè)試儀器穩(wěn)定運(yùn)行的條件下連續(xù)三次采樣，取其平均值，即為該點(diǎn)的實(shí)測(cè)數(shù)值。
    (2)對(duì)于大于或等于0.5微米的塵粒數(shù)確定：層流潔凈室取各測(cè)定點(diǎn)最大值，亂流潔凈室取各測(cè)點(diǎn)的平均值。
    (四)正壓值測(cè)定應(yīng)采用精度可達(dá)0.01毫米水柱的微壓計(jì)。
    四、動(dòng)態(tài)測(cè)試。
    在潔凈工作區(qū)操作位置選擇有代表性測(cè)點(diǎn)的氣流上風(fēng)向進(jìn)行，測(cè)試方法同空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試。

附錄三      潔凈廠房生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類舉例
┌──┬────────────────────────┐  
│生產(chǎn)│   舉    例                                     │  
│類別                                                  │  
├──┼────────────────────────┤  
│甲  │微型軸承裝配的精研間、裝配前的檢查間            │  
│    │精密陀螺儀裝配的清洗間                          │  
│    │磁帶涂布烘干工段                                │  
│    │化工廠的丁酮、丙酮、環(huán)乙酮易燃熔劑的物          │  
│    │理提純工作間(光致抗蝕劑的配制工作間)          │  
│    │半導(dǎo)體材料廠使用氫氣的拉晶間、硅烷熱分解室      │  
│    │集成電路工廠的化學(xué)清洗間(使用閃點(diǎn)小于28℃的易燃│  
│    │液體者)外延間、化學(xué)氣相沉積間和化學(xué)試劑貯存間  │  
├──┼────────────────────────┤  
│乙  │膠片廠的洗印車間                                │  
├──┼────────────────────────┤  
│丙  │計(jì)算機(jī)房記錄數(shù)據(jù)的磁盤貯存間                    │  
│    │顯像管廠裝配工段燒槍間                          │  
│    │磁帶裝配工段                                    │  
│    │集成電路工廠的氧化、擴(kuò)散間、光刻間              │  
└──┴────────────────────────┘ 

附錄四    凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)對(duì)施工的要求
    一、風(fēng)管、靜壓箱和附件的施工，應(yīng)符合下列要求：
    (一)施工現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)保持清潔。風(fēng)管及其附件、靜壓箱、空氣調(diào)節(jié)器、技術(shù)夾層、機(jī)房以及其它設(shè)備、裝置等的清潔工作應(yīng)邊施工邊進(jìn)行;
    (二)風(fēng)管、靜壓箱和附件等制作后，應(yīng)存放在清潔、干燥的地點(diǎn)，并應(yīng)采取防止積塵的措施;
    (三)采用復(fù)合鋼板、鍍鋅鋼板制作的風(fēng)管，在加工、安裝、施工過(guò)程中造成的破損應(yīng)補(bǔ)涂涂料;
    (四)清掃、擦拭應(yīng)選用不產(chǎn)塵、不掉纖維的工具和材料。
    二、高效和亞高效空氣過(guò)濾器的安裝，應(yīng)符合下列要求：
    (一)必須在土建施工、凈化空調(diào)系統(tǒng)初效、中效空氣過(guò)濾器安裝完畢，全系統(tǒng)進(jìn)行檢查、擦試、吹洗運(yùn)轉(zhuǎn)12小時(shí)后方能進(jìn)行;
    (二)高效空氣過(guò)濾器必須在安裝時(shí)方可從保護(hù)袋中取出，同時(shí)應(yīng)進(jìn)行透光目視檢查。凡濾紙破損、漏膠和外框變形者，不得安裝;
    (三)過(guò)濾器與安裝框架之間，必須采取密封措施;
    (四)過(guò)濾器安裝就位后，必須進(jìn)行檢漏和堵漏。
    三、裝配式潔凈室、空氣吹淋室、氣閘室、余壓調(diào)節(jié)閥等凈化設(shè)備和部件的安裝，應(yīng)嚴(yán)格按照產(chǎn)品的安裝、施工要求進(jìn)行。
 附錄五   凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)對(duì)維護(hù)管理的要求
     一、潔凈室的空氣，宜按附表5規(guī)定進(jìn)行監(jiān)測(cè)
    潔凈室的空氣監(jiān)測(cè)頻數(shù)     附表5
┌──────┬──┬───┬────┬──────┐  
│  \空氣潔  │    │      │        │            │  
│鑒測(cè)\  凈度│100 │1000  │10,000  │  100,000   │  
│  項(xiàng)目\等級(jí)│    │      │        │            │  
├──────┼──┴───┴────┴──────┤  
│溫度        │每班二次                            │  
├──────┼──────────────────┤  
│濕度        │每班二次                            │  
├──────┼────┬─────────────┤  
│正壓值      │每周一次│每月一次、                │  
├──────┼────┼──────┬──────┤  
│潔凈度      │每周一次│每三個(gè)月一次│每六個(gè)月一次│  
└──────┴────┴──────┴──────┘ 

附錄六 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)風(fēng)管壁厚
                       風(fēng)管壁厚          附錄6
┌─┬────────┬────────┬────────┬────────┐  
│風(fēng)│冷軋鍍鋅        │鋁板制風(fēng)管      │不銹鋼板制風(fēng)管  │塑料板制風(fēng)管    │  
│管│鋼板制風(fēng)管      │                │                │                │  
│形├────┬───┼────┬───┼────┬───┼────┬───┤  
│狀│外徑或最│壁厚  │外徑或最│壁厚  │外徑或最│壁厚  │外徑或最│壁厚  │
│  │大邊長(zhǎng)  │(毫  │大邊長(zhǎng)  │(毫  │大邊長(zhǎng)  │(毫  │大邊長(zhǎng)  │(毫  │
│  │(毫米)│  米)│(毫米)│  米)│(毫米)│  米)│(毫米)│  米)│
├─┼────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤  
│圓│100～200│0.5   │100～320│1.0   │100～500│0.5   │100～320│3.0   │  
│形├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤  
│風(fēng)│220～500│0.75  │360～630│1.5   │560～   │0.75  │360～630│4.0   │  
│管│        │      │        │      │1120    │      │        │      │  
│  ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤  
│  │560～   │1.0   │700～   │2.0   │1250～  │1.0   │700～   │5.0   │  
│  │1120    │      │2000    │      │200     │      │1000    │      │  
│  ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤  
│  │1250～  │1.2～ │        │      │        │      │1120～  │6.0   │  
│  │2000    │1.5   │        │      │        │      │2000    │      │  
├─┼────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤  
│矩│100～200│0.5   │100～320│1.0   │100～500│0.5   │120～320│3.0   │  
│形├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤  
│風(fēng)│220～500│0.75  │360～630│1.5   │560～   │0.75  │100～500│4.0   │  
│管│        │      │        │      │1120    │      │        │      │  
│  ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤  
│  │560～   │1.0   │700～   │2.0   │1250～  │1.0   │6300～  │5.0   │  
│  │1120    │      │2000    │      │2000    │      │800     │      │  
│  ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤  
│  │1250～  │1.2～ │        │      │        │      │1000～  │6.0   │  
│  │2000    │1.5   │        │      │        │      │1250    │      │  
│  ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤  
│  │        │      │        │      │        │      │1600～  │8.0   │  
│  │        │      │        │      │        │      │2000    │      │  
└─┴────┴───┴────┴───┴────┴───┴────┴───┘  
附錄七  本規(guī)范用詞說(shuō)明
    一、執(zhí)行本規(guī)范條文時(shí)，對(duì)于要求嚴(yán)格程度的用詞說(shuō)明如下，以便執(zhí)行中區(qū)別對(duì)待。
    1、表承很嚴(yán)格，非這樣作不可的用詞：
    正面詞采用“必須”;
    反面詞采用“嚴(yán)禁”。
    2、表示嚴(yán)格，在正常情況下均應(yīng)這樣作的用詞：
    正面詞采用“應(yīng)”;
    反面詞采用“不應(yīng)”或“不得”。
    3、表示允許稍有選擇，在條件許可時(shí)，首先應(yīng)這樣作的用詞：
    正面詞采用“宜”或“可”;
    反面詞采用“不宜”。
    二、條文中指明必須按其他有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范執(zhí)行的寫法為：“應(yīng)按……執(zhí)行”或“應(yīng)符合……要求或規(guī)定”。非必須按所指定的標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范執(zhí)行的寫法為，“可參照……”。