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首頁 新聞中心 行業(yè)資訊 芯片潔凈車間壓差是如何控制的?

芯片潔凈車間壓差是如何控制的?

2023-11-15
共有3991家企業(yè)看過

  壓差是芯片潔凈車間內(nèi)的一項很重要的參數(shù),壓差不對,潔凈車間就廢了一半。那么芯片潔凈車間壓差到底是什么?壓差怎么控制呢?今天就隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來了解下吧!

  芯片潔凈車間的壓差就是潔凈室與周圍空間所必須維持的靜壓差。使廠房外環(huán)境與潔凈室之間、潔凈度不同的潔凈室之間或潔凈室與一般房間之間保持適當?shù)膲翰钪?,目的是為了保證芯片潔凈車間在正常工作或空氣平衡暫時受到破壞時,芯片潔凈車間的潔凈度免受鄰室的污染或污染鄰室。

  芯片潔凈車間與鄰室維持正的靜壓差(簡稱正壓)是較為常見的情況。芯片潔凈車間是采用維持正壓,使用有毒、有害氣體或使用易燃易爆溶劑或有高粉塵操作的潔凈室、生產(chǎn)致敏性藥物、高活性藥物的生物潔凈室以及其他有特殊要求的生物潔凈室需要維持負的靜壓差(簡稱負壓)。


芯片潔凈車間


  那么,如何控制芯片潔凈車間內(nèi)的正壓壓差呢?主要可以通過回風口控制、余壓閥控制、調(diào)節(jié)回風閥或排風閥、差壓變送器控制以及調(diào)節(jié)新風閥等方式來控制和調(diào)整潔凈室內(nèi)的正壓差。其原理是通過控制送風量、回風量和排風量來控制壓差。

  回風口控制。通過回風口上的百葉可調(diào)格柵或阻尼層改變其阻力來調(diào)整回風量,達到控制室內(nèi)壓力的目的。特點是結(jié)構(gòu)比較簡單、經(jīng)濟,格柵控制調(diào)節(jié)量方便。但格柵不易關(guān)死,且調(diào)節(jié)幅度不大,會對氣流方向產(chǎn)生影響。

  余壓閥控制。通過手動或自動調(diào)整余壓閥上的平衡壓塊,改變壓閥的閥門開度,實現(xiàn)室內(nèi)的壓力控制。余壓閥一般設(shè)在潔凈室下風側(cè)墻上。余壓閥安裝簡單。

  壓差控制是防止將污染帶進或帶出潔凈室的重要措施。當需要的壓差值太大,不容易辦到時,就要加設(shè)輔助設(shè)施。常見的緩沖設(shè)施氣閘室、緩沖室、空氣吹淋室、傳遞窗等。

  在設(shè)計和運行芯片潔凈車間時,需要嚴格遵守相關(guān)的潔凈度等級要求和標準,如ISO 14644潔凈室標準。此外,需要找專業(yè)的凈化工程公司進行綜合規(guī)劃和設(shè)計,并確保定期進行維護和校準,以保持潔凈車間的良好運行狀態(tài)和壓差控制。合潔科技電子潔凈工程公司就是一家不錯的電子凈化工程建設(shè)公司,專注電子凈化工程22年,擁有一級建筑資質(zhì)和專業(yè)設(shè)計施工團隊,上千案例,值得信賴!

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