近年來(lái)半導(dǎo)體行業(yè)的興起，其全新的生產(chǎn)工藝及生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)環(huán)境溫、濕度、潔凈度的較高要求，需要我們提供一個(gè)比較有效且比較低能耗的空調(diào)系統(tǒng)，特別需要有低濕度的空調(diào)環(huán)境保證，而半導(dǎo)體無(wú)塵車間就能提供這樣一個(gè)良好環(huán)境。除濕控制是半導(dǎo)體無(wú)塵車間系統(tǒng)設(shè)計(jì)重點(diǎn)，今天就隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來(lái)了解下吧!

　　目前，空氣除濕主要有四種方式，通風(fēng)除濕、冷卻除濕、液體吸濕劑除濕和固體吸附劑除濕。在空調(diào)除濕系統(tǒng)中，冷卻除濕和固體吸附劑除濕是主要手段。冷卻除濕在環(huán)境對(duì)濕度要求不是很高(RH≯60～65%)的條件下，效果還是比較好，性能穩(wěn)定且能耗也比較低，目前應(yīng)用比較廣泛。但在生產(chǎn)環(huán)境對(duì)濕度要求較高(RH=45±5%)的地方，采用冷卻除濕就明顯是不經(jīng)濟(jì)的。采用轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)，將不受空氣露點(diǎn)影響，且除濕量大，特別適用于低濕條件下，但如果全部除濕僅采用固態(tài)吸附原理的轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)進(jìn)行，由于其再生耗能量也比較大，此種方案也不是很經(jīng)濟(jì)的。由于轉(zhuǎn)輪除濕和冷卻除濕各有所長(zhǎng)，將其優(yōu)化組合，各取所長(zhǎng)，互補(bǔ)所短，會(huì)更好的發(fā)揮其效能。

　　半導(dǎo)體生產(chǎn)的無(wú)塵車間要在全年四季的氣候條件下，生產(chǎn)車間內(nèi)部要求維持穩(wěn)定的環(huán)境，特別是對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織，壓力平衡等多個(gè)空調(diào)參數(shù)都提出了嚴(yán)格的要求。有別于其他的恒溫恒濕環(huán)境系統(tǒng)的要求，由于電子產(chǎn)品對(duì)靜電的敏感性和高濕度環(huán)境對(duì)其品質(zhì)的影響，其對(duì)濕度的精度提出了嚴(yán)格要求，對(duì)于空調(diào)系統(tǒng)的配置，則要求系統(tǒng)同時(shí)具備夏季除濕的功能和冬季加濕的功能。

　　一般的，半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)的溫濕度條件為：T=22±2°C，RH=45±5%;而對(duì)于這個(gè)溫濕度要求，傳統(tǒng)上經(jīng)常采用冷凍除濕+后加熱(再熱)方式進(jìn)行處理，并取得了一定成果。但這種方式卻存在著一個(gè)致命問(wèn)題，冷熱的抵消和能耗的巨大浪費(fèi)，特別是由于半導(dǎo)體行業(yè)的大新風(fēng)，大排風(fēng)系統(tǒng)、生產(chǎn)環(huán)境為大空間潔凈環(huán)境以及目前許多廠主要集中分布在華南和華東地區(qū)的特殊情況，使得這個(gè)問(wèn)題十分突出。

　　因此，現(xiàn)如今許多半導(dǎo)體無(wú)塵車間廠房的空調(diào)系統(tǒng)開始使用新風(fēng)通過(guò)新風(fēng)機(jī)組(冷卻除濕)和轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)聯(lián)合處理濕度、溫度而后通過(guò)后空調(diào)機(jī)組處理的組合方式，達(dá)到室內(nèi)送風(fēng)溫、濕度要求，并取得了很好的效果。