設(shè)計(jì)和搭建電子潔凈廠房的排氣系統(tǒng)是確保廠房空氣質(zhì)量和潔凈度的重要環(huán)節(jié)。以下是合潔科技電子潔凈工程公司對設(shè)計(jì)和搭建電子潔凈廠房排氣系統(tǒng)的一般步驟和考慮因素的介紹：

　　1、需求分析：首先需要明確潔凈廠房的具體需求，包括潔凈度等級、空氣流量要求、排氣口位置等。

　　2、系統(tǒng)設(shè)計(jì)：根據(jù)需求設(shè)計(jì)排氣系統(tǒng)，確定排氣口的位置、數(shù)量和大小，選擇合適的排氣設(shè)備(如風(fēng)機(jī)、風(fēng)管等)。

　　3、空氣流動分析：進(jìn)行空氣流動分析，確保排氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)合理，能夠有效排除廠房內(nèi)的污染物和異味。

　　4、風(fēng)管布局：設(shè)計(jì)風(fēng)管的布局，確保風(fēng)管連接合理，通風(fēng)暢通，避免死角和積塵。

　　5、風(fēng)機(jī)選擇：選擇適合潔凈廠房的高效風(fēng)機(jī)，確保排氣系統(tǒng)能夠提供足夠的排風(fēng)量和負(fù)壓。

　　6、排氣口設(shè)置：合理設(shè)置排氣口，避免排氣口位置對潔凈廠房產(chǎn)生負(fù)面影響，如引入外部污染物或影響空氣流動。

　　7、風(fēng)速控制：設(shè)計(jì)風(fēng)速控制系統(tǒng)，確保排氣系統(tǒng)能夠根據(jù)需要調(diào)節(jié)風(fēng)速，以適應(yīng)不同工作狀態(tài)下的空氣流動需求。

　　8、安裝調(diào)試：按照設(shè)計(jì)方案進(jìn)行排氣系統(tǒng)的安裝和調(diào)試，確保系統(tǒng)正常運(yùn)行和達(dá)到設(shè)計(jì)要求。

　　上述規(guī)定是依據(jù)近年來電子工業(yè)潔凈廠房工程的設(shè)計(jì)實(shí)踐和已經(jīng)投人運(yùn)行的相關(guān)工程項(xiàng)目的安全可靠運(yùn)營的經(jīng)驗(yàn)總結(jié)，并且參照了國外相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)要求。在美國消防協(xié)會(NFPA)2018年版的《半導(dǎo)體制造的消防標(biāo)準(zhǔn)》(NFPA 318)中要求：“排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)有自動應(yīng)急電源;應(yīng)急電源工作時(shí)，應(yīng)達(dá)到不低于排氣系統(tǒng)50%的容量;使用可燃、易燃?xì)怏w或化學(xué)品的設(shè)備，應(yīng)設(shè)有可燃、易燃?xì)怏w或蒸汽濃度低至爆炸下限20%以下的排氣系統(tǒng)。

　　據(jù)了解，國內(nèi)已經(jīng)建成投運(yùn)或正在建設(shè)的微電子生產(chǎn)用潔凈廠房內(nèi)有爆炸危險(xiǎn)的可燃、易燃?xì)怏w或蒸汽和粉塵的排風(fēng)系統(tǒng)，為確保潔凈廠房的安全可靠性、排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)量均應(yīng)達(dá)到在正常運(yùn)行或事故情況下，排風(fēng)管內(nèi)這些有害物質(zhì)的濃度不得大于該物質(zhì)爆炸下限的20%計(jì)。為此在排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)有吸人房間空氣的自動裝置，并在排風(fēng)管內(nèi)設(shè)有氣體濃度報(bào)警裝置，當(dāng)排風(fēng)系統(tǒng)中的有害物質(zhì)派度超過規(guī)定值時(shí)，在進(jìn)行報(bào)警的同時(shí)，自動開啟吸人空氣降低排風(fēng)中有害物質(zhì)的裝置，使排風(fēng)系統(tǒng)總是不會因意外火源引發(fā)著火事故潔凈室(區(qū))及其上、下技術(shù)夾層均具有氣密性良好的要求，如果在潔凈廠房中含有有毒可燃、 易燃物質(zhì)的排氣系統(tǒng)一旦發(fā)生泄漏事故將會帶來十分嚴(yán)重的安全隱患，一旦超出規(guī)定限值可能使作業(yè)人員中毒甚至發(fā)生著火事故，所以相關(guān)規(guī)范中規(guī)定含有毒和易燃、易爆等危險(xiǎn)物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)機(jī)、處理設(shè)備均應(yīng)設(shè)置備用電源、備用風(fēng)機(jī)，以防止排氣系統(tǒng)不正常停機(jī)事故的發(fā)生;并且這類排風(fēng)系統(tǒng)內(nèi)應(yīng)保持相對于風(fēng)管路由區(qū)城一定的負(fù)壓值，以避免發(fā)生泄漏事故。

　　不僅如此，在相關(guān)規(guī)范中還規(guī)定在使用有毒、可燃、易燃、有爆炸危險(xiǎn)物質(zhì)的生產(chǎn)工藝設(shè)備的‘氣體分配箱”、排風(fēng)管道連接處和相應(yīng)的潔凈室(區(qū))的室內(nèi)環(huán)境設(shè)有氣體泄漏報(bào)警裝置，為避免因危險(xiǎn)物質(zhì)的泄漏超過規(guī)定限值引發(fā)安全事故的發(fā)生，并應(yīng)設(shè)置氣體報(bào)警裝置與排風(fēng)風(fēng)機(jī)的自動連鎖控制。

　　潔凈廠房排氣 (廢氣)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)建造安全技術(shù)措施主要有如下基本要求。

　?、倥艢庀到y(tǒng)應(yīng)具有連續(xù)不斷運(yùn)行的功能，這是確保潔凈廠房安全穩(wěn)定運(yùn)行的重要條件之一，也是保持潔凈室的潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)過程不被玷污的必需的技術(shù)措施。如果潔凈廠房內(nèi)某排氣系統(tǒng)因安全技術(shù)措施出現(xiàn)故障導(dǎo)致其中斷運(yùn)行，將會使該排氣系統(tǒng)涉及的潔凈室(區(qū))及其范圍內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)生的有害物質(zhì)散發(fā)到相關(guān)房間內(nèi)，其嚴(yán)重后果是不言而喻的。此，“連續(xù)運(yùn)行”是潔凈廠房排氣系統(tǒng)首要的安全技術(shù)措施基本要求。

　?、?潔凈廠房中各類排氣應(yīng)嚴(yán)格遵守 “不準(zhǔn)混排”或應(yīng)按廢氣種類和不相容原則分類、分系統(tǒng)設(shè)置。這里所指的 “不相容”，Cincompatible是化學(xué)物質(zhì)經(jīng)由非故意的結(jié)合，可能產(chǎn)生劇烈的反應(yīng)或無法控制的狀況，其釋放的能量可能引起危險(xiǎn)。在電子工業(yè)集成電路、液晶顯示器面板等產(chǎn)品生產(chǎn)中，由于其生產(chǎn)過程需用數(shù)十種不同物化性質(zhì)的化學(xué)品、特種氣體，因此在這類潔凈廠房內(nèi)的排氣系統(tǒng)必須十分嚴(yán)格執(zhí)行“不準(zhǔn)混排”“按不相容原則分類、分系統(tǒng)”，以確保潔凈廠房的安全穩(wěn)定運(yùn)行。例如在 GB 51401 中明確規(guī)定：氮氧化物度氣、高濃度酸皮氣應(yīng)單獨(dú)設(shè)置皮氣系統(tǒng)，外延尾氣處理系統(tǒng)應(yīng)單獨(dú)設(shè)置等

　?、鄹黝惻艢庀到y(tǒng)設(shè)計(jì)建造和運(yùn)行應(yīng)具有可靠的防止泄漏/滲漏的技術(shù)措施。簽于各類排氣系統(tǒng)中排出的介質(zhì)分別或同時(shí)具有易燃易爆、毒性、腐蝕性、氧化性和室息性等，一旦從排風(fēng)系統(tǒng)泄漏到所涉及的環(huán)境，將可能引發(fā)火災(zāi)、爆炸、中街等危區(qū)生命財(cái)產(chǎn)的重大災(zāi)難性事故，因此防泄漏/滲漏是排氣系統(tǒng)安全技術(shù)措施的重要基本要求。

　?、芤罁?jù)排氣系統(tǒng)排出廢氣的有害物質(zhì)，例如有火災(zāi)、爆炸、有毒等危及生命財(cái)產(chǎn)安全的物質(zhì)，在生產(chǎn)工藝設(shè)備排出口或在現(xiàn)場排氣處理裝置(POU) 等排出口，進(jìn)入排風(fēng)管道處的有告濃度應(yīng)有嚴(yán)格限制，以確保排風(fēng)管道至排人大氣的排氣間的路由管道、設(shè)備區(qū)其周圍環(huán)境的安全。在標(biāo)淮規(guī)范中明確規(guī)定的有.燒類尾氣處理系統(tǒng)處理后的燃燒爆炸性氣體濃度應(yīng)保持在萁燃燒范圃卞限值的 25%以下，為防止運(yùn)行過程中排氣管道內(nèi)“超過限值”，通常應(yīng)設(shè)有稀釋措施;當(dāng)采用轉(zhuǎn)輪濃縮處理揮發(fā)性有機(jī)物廢氣時(shí)，濃縮后的揮發(fā)性有機(jī)物廢氣濃度不應(yīng)大于燃燒范圍下限的50%等。

　　在設(shè)計(jì)和搭建電子潔凈廠房排氣系統(tǒng)時(shí)，需要充分考慮潔凈度要求、空氣流動情況、設(shè)備選擇和安裝等因素，以確保潔凈廠房內(nèi)空氣質(zhì)量符合要求，保障生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度和員工的健康。