集成電路凈化工程設(shè)計(jì)案例：一般要采用FFU凈化系統(tǒng)因?yàn)榫哂徐`活性，可適應(yīng)工藝變化，當(dāng)工藝發(fā)展需要提高空氣潔凈度級(jí)別時(shí)，采取增加FFU數(shù)量或更換更高效率的過(guò)濾器就可達(dá)到提高潔凈度等級(jí)的目的。FFU采用負(fù)壓密封使其簡(jiǎn)化而可靠，也就是說(shuō)，潔凈區(qū)內(nèi)的空氣壓力大于送風(fēng)靜壓箱內(nèi)的空氣壓力，這就極大地降低了塵埃微粒通過(guò)縫隙進(jìn)入潔凈室的幾率。此外，采取這種方式也可大大節(jié)省空調(diào)機(jī)房的面積。今天就隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來(lái)了解下集成電路凈化工程應(yīng)該怎么設(shè)計(jì)裝修吧!

　　項(xiàng)目背景：

　　一家電子廠計(jì)劃建設(shè)一座潔凈室用于集成電路生產(chǎn)，要求潔凈室內(nèi)空氣質(zhì)量高，能夠達(dá)到特定的潔凈度等級(jí)，以確保生產(chǎn)過(guò)程中的產(chǎn)品質(zhì)量和穩(wěn)定性。

　　設(shè)計(jì)要求：

　　1、潔凈度等級(jí)：要求達(dá)到ISO 14644標(biāo)準(zhǔn)中的特定潔凈度等級(jí)，如ISO 7級(jí)。

　　2、空氣流量：根據(jù)潔凈室的大小和用途確定合適的空氣流量，確?？諝獾难h(huán)和凈化效果。

　　3、空氣循環(huán)設(shè)計(jì)：設(shè)計(jì)合理的空氣循環(huán)系統(tǒng)，包括凈化空調(diào)系統(tǒng)、出風(fēng)口、回風(fēng)口、排風(fēng)口和新風(fēng)口的設(shè)置。

　　4、溫濕度控制：確保潔凈室內(nèi)溫濕度穩(wěn)定，適合集成電路生產(chǎn)的要求。

　　5、靜電控制：考慮靜電對(duì)集成電路生產(chǎn)的影響，設(shè)計(jì)靜電控制措施，如地板材料選擇、靜電消除設(shè)備等。

　　6、設(shè)備維護(hù)：設(shè)計(jì)易于維護(hù)和清潔的設(shè)備和設(shè)施，保證潔凈室長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

　　設(shè)計(jì)方案：

　　1、空調(diào)系統(tǒng)：選擇高效的凈化空調(diào)系統(tǒng)，包括過(guò)濾器、風(fēng)道、送風(fēng)口和回風(fēng)口，確?？諝鈨艋Ч涂諝饬鲃?dòng)均勻。

　　2、空氣過(guò)濾：設(shè)置多級(jí)過(guò)濾系統(tǒng)，包括初效過(guò)濾器、中效過(guò)濾器和高效過(guò)濾器，以去除空氣中的顆粒物和微生物。

　　3、空氣循環(huán)：合理設(shè)置出風(fēng)口、回風(fēng)口、排風(fēng)口和新風(fēng)口，保證空氣循環(huán)和凈化效果，避免死角和死區(qū)。

　　4、溫濕度控制：安裝恒溫恒濕設(shè)備，監(jiān)控和調(diào)節(jié)潔凈室內(nèi)的溫濕度，確保生產(chǎn)環(huán)境穩(wěn)定。

　　5、靜電控制：選擇防靜電地板、靜電消除設(shè)備等措施，減少靜電對(duì)集成電路生產(chǎn)的影響。

　　6、 暖通工程 ：采用新風(fēng)集中處理機(jī)組(MAU)+風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元(FFU)+干式冷盤管(DDC)的方式，其空氣處理過(guò)程為：循環(huán)風(fēng)經(jīng)設(shè)置在一層的干式冷卻盤管冷卻后，進(jìn)入上部送風(fēng)靜壓箱，與處理后的新風(fēng)混合，經(jīng)FFU加壓、過(guò)濾后送入生產(chǎn)區(qū)。

　　結(jié)果與效益：

　　通過(guò)以上設(shè)計(jì)方案的實(shí)施，集成電路凈化車間可以達(dá)到預(yù)期的潔凈度等級(jí)要求，確保集成電路生產(chǎn)過(guò)程中的空氣質(zhì)量和生產(chǎn)環(huán)境穩(wěn)定性，提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)過(guò)程中的污染風(fēng)險(xiǎn)，為電子廠的生產(chǎn)提供良好的生產(chǎn)環(huán)境和條件。